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全自动半导体插片机

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全自动半导体插片机

  • 所属分类:工业自动化设备

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/07/09
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详细介绍

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全自动半导体插片机简介

全自动半导体插片机是专为实现半导体硅片生产自动化而设计的全自动插片、翻转、移载、排列、输送设备。具有自动化程度高,破损硅晶自动检测。能消除人为造成的硅片破损和二次污染,可与清洗机实现自动化对接,方便管理和数据统计,降低人工使用和劳动强度。


设备技术参数:

硅片规格:5寸,φ125±1mm;6寸,φ156±0.5mm

硅片厚度:0.275-0.9mm

插片速度:3000-4000片/小时

料盒可载硅片数量:200-300片

适应花篮:5.6寸花篮

设备尺寸:3285x1330x1580(mm)

设备重量:960kg

设备使用条件:电源:380V x 20V 50Hz AC三相;气源压力:0.5MPa,φ12接口

水:自来水

环境要求:环境温度:-5-40℃;相对温度:≤80%


设备特点:

结构紧凑,设备个单元布局合理,功能自动连接,占地空间小;

人性化的结构和操作界面设计,便于工人操作;

插片定位入蓝。机械手换蓝,满蓝移载,旋转,移位,排列定位,移载进入清洗机实现全自动。

设计有破损片自动识别,自动控制功能;

零部件设计有防水措施,使用寿命长,运行成本低,产能高;

可根据用户的实际要求设计定制专用设备与部件。


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  上料分片          插片               抓取

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      翻转            移载              排列

本文网址:https://www.dechangtec.com/product/543.html

关键词:硅片插片机,硅片自动插片机,半导体自动化设备

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