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半导体自动化插片设备

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产品详情

半导体自动化插片设备说明:


自动化插片设备是专为半导体圆形硅片自动装篮设计制造的,通过自动分片装置将成垛的圆形硅片在水压的作用下逐片分离开,在柔性传送带的输送下,自动进入夹持于机械手上的花篮中,自动进篮和出篮。操作工人只需保证插片机上料槽内有硅片即可。本设备电气控制部分关键件均采用进口优质件,性能可靠,使用寿命长,动作迅速、可靠,适用于4、5、6、8吋半导体晶圆分片插片作业。


设备功能概要:


半导体插片自动化设备是专为半导体圆形硅片自动装篮设计制造的,通过自动分片装置将成垛的圆形硅片在水压的作用下逐片分离开,在柔性传送带的输送下,自动进入夹持于机械手上的花篮中,自动进兰和出篮。自动分片插片机解决了硅片在清洗前手工装入花篮的问题,利用PLC程序控制实现了自动上料,自动插片,自动换蓝,料满报警等,如按用户需求配备移栽机械手可与清洗机实现自动对接。